晉江（西安）離岸創(chuàng)新中心又一前沿項(xiàng)目入駐
近日，晉江（西安）離岸創(chuàng)新中心迎來了新伙伴——非接觸式半導(dǎo)體工藝參數(shù)測(cè)試儀器項(xiàng)目正式入駐。
此次入駐的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)研究方向與晉江重點(diǎn)發(fā)展的集成電路產(chǎn)業(yè)高度契合。該項(xiàng)目聚焦解決現(xiàn)有檢測(cè)手段對(duì)晶圓內(nèi)部缺陷、載流子壽命、復(fù)合率等關(guān)鍵電學(xué)參數(shù)（接觸式測(cè)量）效率較低的問題。項(xiàng)目核心成果為國(guó)內(nèi)首臺(tái)“非接觸式電學(xué)參數(shù)成像檢測(cè)儀”，具備可視化深層缺陷探測(cè)能力、非破壞性檢測(cè)與納秒級(jí)載流子響應(yīng)成像功能，代表了光熱診斷和多物理參數(shù)融合檢測(cè)領(lǐng)域的前沿突破，具有高度的戰(zhàn)略價(jià)值和工程轉(zhuǎn)化前景。
項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)的成功入駐，是晉江（西安）離岸創(chuàng)新中心深化晉陜兩地合作的又一里程碑。晉江（西安）離岸創(chuàng)新中心自設(shè)立以來，肩負(fù)著打造晉江在陜西甚至西北地區(qū)“人才驛站、創(chuàng)新前哨、項(xiàng)目孵化器”的戰(zhàn)略使命。未來，該中心將持續(xù)優(yōu)化創(chuàng)新生態(tài)、完善服務(wù)體系，積極吸引更多高水平科研團(tuán)隊(duì)和創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項(xiàng)目匯聚，為晉江產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)和經(jīng)濟(jì)社會(huì)高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)源源不斷的創(chuàng)新智慧與力量。（記者 李玲玲）
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